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激光器的特點(diǎn)與在半導(dǎo)體行業(yè)中的加工應(yīng)用介紹
半導(dǎo)體制造業(yè)發(fā)展迅速,"綠色"技術(shù)無(wú)疑具有光明的未來(lái),這就要求有新的激光加工工藝與技術(shù)來(lái)獲得更高的生產(chǎn)品質(zhì)、成品率和產(chǎn)量。除了激光系統(tǒng)的不斷發(fā)展,新的加工技術(shù)和應(yīng)用、光束傳輸與光學(xué)系統(tǒng)的改進(jìn)、激光光束與材料之間相互作用的新研究,都是保持綠色技…
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